【马斯克瞄准EUV光源：FEL技术受青睐 芯片成本或迎变革】

【马斯克瞄准EUV光源：FEL技术受青睐 芯片成本或迎变革】报道，8月10日，继造车、火箭、人形机器人之后，马斯克正将目光投向芯片制造核心环节——EUV光源。相较于目前成熟商用的激光产生等离子体（LPP）光源技术，马斯克对自由电子激光（FEL）表达出明显的青睐。自由电子激光（FEL）理论上可大幅降低先进芯片生产成本，但目前仍处于早期研发阶段。